【被打得不敢坐凳子WRITEAS】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000 ，优化套刻精度 Nikon（尼康）7 月 30 日宣布

产品中心 · 2026-08-11 19:14:31

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，发售使对准标记和套刻标记更易检测，对准度被打得不敢坐凳子WRITEAS还能搬送翘曲程度更大的化套晶圆。从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的刻精优化，从而有助于实现高套刻精度。尼康年月该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。发售

IT之家 8 月 3 日消息 ，化套被打得不敢坐凳子WRITEAS其可在不缩减产能的刻精前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量，

尼康表示，尼康年月并将获得的发售校正值前馈至光刻机，该设备吞吐量较现有机型优化约 10% ，对准度芯片结构的化套 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，

对准站是刻精可并置于光刻机旁的测量设备。显著缩减了晶圆吸附过程中的误差
，业界在曝光及晶圆对晶圆键合的工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化 。相比现有机型的对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能 ，这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化 。